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李菁萱,井立鹏,苏帅,李洪剑,荆林晓,冯小成
LI Jingxuan, JING Lipeng, SU Shuai, LI Hongjian, JING Linxiao, FENG Xiaocheng
摘要: 由于双腔结构器件的下层腔体位于整体结构内凹处,常规颗粒碰撞噪声检测(PIND)检测手段无法直接检测出准确的结果,多余物检测不到位易导致产品短路甚至烧毁。本文为研究双腔结构器件下腔的最佳PIND检测方法,设计了自带凸台结构的测试工作台并进行典型多余物的PIND检测试验,同时与纯铝垫块法、硅凝胶法、陶瓷面测试法及直接测试金属框法进行对比;结果表明,在检测上下腔结构陶瓷器件下腔时,虽然存在少量信号损失,但特制工作台法仍是五种方法中最灵敏的检测方式。