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功率器件烧结银互连组织演化及性能影响研究进展
郭志濠,魏雨晨,钟志宏,梁水保
GUO Zhihao, WEI Yuchen, ZHONG Zhihong, LIANG Shuibao
摘要: 宽禁带半导体器件日益增长的功率密度及其高温稳定服役需求,对封装互连材料提出了更为严苛的要求。烧结银凭借其“低温烧结、高温服役”的独特优势及优异的电热性能,已成为功率器件实现高可靠固晶互连的理想材料。然而,烧结银固有的多孔微观组织在服役过程中的生长演化,显著影响其热-力学性能与长期可靠性。本文系统综述了服役条件下烧结银微观形貌的演化规律,重点阐述了孔洞粗化、晶粒生长与孔隙率演化的驱动机制,揭示了组织演化对热导率、力学性能及界面结合强度的影响规律,分析了其对互连失效行为的影响机理。通过总结国内外研究进展,以期为优化烧结银固晶互连的微观结构设计及提升功率器件的服役可靠性提供参考。