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吴祥1,石云霞2
WU Xiang1, SHI Yunxia2
摘要: 第三代宽禁带半导体器件对封装互连材料提出低温互连、高温服役双重严苛要求。传统锡基焊料难以适配高温工况,纳米银则受到高成本与电迁移问题限制。纳米铜兼具与银相近的导电和导热特性、低成本、抗电迁移能力优异,是理想替代材料,但其极易氧化,会显著降低烧结接头性能。综述功率半导体封装互连材料从银浆料到铜浆料的技术演进,梳理表面包覆、自还原、气氛辅助、双峰级配四类纳米铜抗氧化策略;分析铜与碳纳米管、石墨烯等碳材料的协同效应,揭示其在提升导热、导电性和缓解热膨胀失配方面的作用机制;总结烧结工艺参数对微结构与可靠性的影响,指出无压烧结、多材料界面匹配、绿色制造是纳米铜烧结技术中亟待突破的核心难题。