等离子清洗技术在DC/DC混合电路中的应用

doi:10.16257/j.cnki.1681-1070.2019.0013

电子与封装 ›› 2019, Vol. 19 ›› Issue (2): 05 -8. doi: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2019.0013

等离子清洗技术在DC/DC混合电路中的应用

史海林，薛聪，张军

西安微电子技术研究所，西安 710129

收稿日期:2018-10-17 出版日期:2019-02-20 发布日期:2019-02-20
作者简介:史海林（ 1986— ），男，陕西西安人，硕士研究生学历，工程师，主要从事混合电路微组装工艺技术方面的研究工作。

Application of Plasma Cleaning Technology in DC/DC Hybrid Circuits

SHI Hailin, XUE Cong, ZHANG Jun

Xi’an Institute of Microelectronic Technology, Xi‘an 710129, China

Received:2018-10-17 Online:2019-02-20 Published:2019-02-20

摘要/Abstract

摘要： 等离子清洗是一种干法清洗技术,在电子封装领域应用广泛。总结了射频等离子清洗技术在DC/DC混合电路各组装工艺环节中的应用,射频等离子清洗可有效提高DC/DC混合电路组装质量及可靠性,但不当的清洗工艺或清洗流程会对DC/DC混合电路的组装质量产生不良影响,针对产生的不良影响也提出了改进措施。

关键词: 等离子清洗, 射频, DC/DC混合电路, 可靠性

Abstract: Plasma cleaning is a kind of dry cleaning technology widely used in the field of electronic packaging. This paper summarizes the application of RF plasma cleaning technology in the assembly process of DC/DC hybrid circuit and finds that RF plasma cleaning can effectively improves the assembly quality and reliability of DC/DC hybrid circuit , but improper cleaning process can decrease them. Some preventive measures are put forward to solve the problems existing in RF plasma cleaning process.

Key words: plasma cleaning, radio frequency, DC/DC hybrid circuit, reliability

中图分类号:

TN405

史海林，薛聪，张军. 等离子清洗技术在DC/DC混合电路中的应用[J]. 电子与封装, 2019, 19(2): 05 -8.

SHI Hailin, XUE Cong, ZHANG Jun. Application of Plasma Cleaning Technology in DC/DC Hybrid Circuits[J]. Electronics & Packaging, 2019, 19(2): 05 -8.

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中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

中国半导体行业协会封测分会会刊

无锡市集成电路学会会刊

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Application of Plasma Cleaning Technology in DC/DC Hybrid Circuits

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