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徐士猛1,2,王志慧3,练滨浩2,陈昶昊2,李建中2,刘弈光3,栗致浩3,谢晓辰2,林鹏荣2,郭亨通2
XU Shimeng1,2, WANG Zhihui3, LIAN Binhao2, CHEN Changhao2, LI Jianzhong2, LIU Yiguang3, LI Zhihao3, XIE Xiaochen2, LIN Pengrong2, GUO Hengtong2
摘要: 针对2.5D集成产品等新一代宇航集成电路高密度、高集成封装要求,开展基于加压回流的注塑模组倒装焊技术研究。研究结果表明,注塑模组及基板存在相似的翘曲趋势和翘曲方向转变规律。在高于Tg温度后注塑料膨胀是模组的主要翘曲来源。基板多层布线的层间和层内差异是基板局部翘曲差异的主要来源。对比无工装、压力工装、限位工装等不同工况下的加压回流焊点形态及仿真结果,无工装回流焊接存在较大的虚焊风险,压力工装、限位工装均能有效的消除焊点虚焊,但限位工装工况下焊点拥有更高的焊点高度。通过高密度集成微互连结构多场耦合本构建模与基于跨尺度子模型的有限元寿命仿真,计算得到焊点疲劳寿命为3 390次。多应力的可靠性评估表明2.5D芯粒集成倒装焊器件能够通过筛选、鉴定D3、D4分组、高温存储、温度循环、耐焊接热、HAST等可靠性考核。有效解决了注塑模组及LTCC基板回流翘曲导致的倒装焊点虚焊、桥连等问题,为航天重大工程用的2.5D集成产品研制提供封装技术支撑。