"面向高温极端环境的集成电路及传感器技术与应用"专题 栏目所有文章列表

(按年度、期号倒序)     一年内发表的文章 |  两年内 |  三年内 |  全部 Please wait a minute... 选择: 导出引用 EndNote Ris BibTeX 显示/隐藏图片 Select 1. "面向高温极端环境的集成电路及传感器技术与应用"专题前言 曹晓东 电子与封装    2025, 25 (11): 110100-.   摘要 （52）      PDF（pc） （357KB）（204）    可视化    收藏 相关文章 | 多维度评价 | 评论（0） Select 2. 一种耐高温MEMS加速度传感器 张旭辉，李明昊，任臣，陈琳，杨拥军 电子与封装    2025, 25 (11): 110101-.   DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2025.0174 摘要 （99）      PDF（pc） （1741KB）（210）    可视化    收藏 设计一种耐高温微机电系统（MEMS）加速度传感器，MEMS敏感结构采用差分梳齿电容检测原理，MEMS与专用集成电路（ASIC）均使用绝缘体上硅（SOI）工艺设计制造。ASIC包括低噪声前端放大器、增益/零位调节、低通滤波等信号链电路单元，以及片上基准、片上振荡器、熔丝型一次性可编程（OTP）等辅助电路单元。器件采用陶瓷管壳封装，量程达到±15g，非线性度0.31%，225 ℃时零偏稳定性优于0.002g，表现出较好的温度特性和高稳定性。 参考文献 | 相关文章 | 多维度评价 | 评论（0） Select 3. MEMS器件辐射损伤机理与抗辐射加固技术研究进展* 郭凯茜，朱志成，徐东航，聂萌 电子与封装    2025, 25 (11): 110102-.   DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2025.0176 摘要 （122）      PDF（pc） （2812KB）（229）    可视化    收藏 随着MEMS技术在空间探测、核能工程等极端辐射环境中的广泛应用，其辐射可靠性问题日益凸显。系统分析了基于不同工作原理（静电驱动、压阻传感、压电转换等）的MEMS器件在辐射环境下的失效机理，重点总结了电离辐射、位移损伤等效应对器件性能的影响规律。详细评述了从材料优化、结构设计到工艺改进的抗辐射加固技术研究进展。最后，针对未来深空探测、核反应堆监测等应用需求，提出了MEMS抗辐射加固技术的发展趋势和研究方向，为高可靠MEMS器件的设计与应用提供参考。 参考文献 | 相关文章 | 多维度评价 | 评论（0） Select 4. 高温MEMS压力传感器芯片设计与实现方法研究* 陈培仓，华传洋，朱赛宁，王涛，聂萌，郭贤，吴建伟 电子与封装    2025, 25 (11): 110103-.   DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2025.0177 摘要 （76）      PDF（pc） （1643KB）（130）    可视化    收藏 针对核工业高温环境下25 MPa压力测量需求，设计并实现了一种基于CMOS工艺的高温MEMS压力传感器芯片。该芯片采用绝缘体上硅（SOI）材料片，通过硅槽和填充工艺实现全介质隔离，有效避免了高温下PN结隔离本征激发漏电问题，同时提升了热稳定性。实验结果表明，芯片压力测量范围为0~25 MPa，常温非线性误差优于0.35%FS，灵敏度达到3.95 mV/MPa，压敏电阻线性误差小于0.07%，在275 ℃时温度系数为2001.17×10-6/℃，传感器零点温漂在-0.08 mV/℃以内，热稳定时间较传统的沟槽隔离提升34.29%。该设计有望为核高温环境下的压力测量提供可靠解决方案，推动CMOS MEMS集成技术发展。 参考文献 | 相关文章 | 多维度评价 | 评论（0） Select 5. 耐高温MEMS加速度计设计及温度特性优化 陈鹏旭，任臣，杨拥军，王宁，陈琳，李明昊 电子与封装    2025, 25 (11): 110104-.   DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2025.0178 摘要 （51）      PDF（pc） （1605KB）（162）    可视化    收藏 利用高温SOI ASIC制造工艺和微机电系统（MEMS）技术，研制了更宽温区（-55~225 ℃）的耐高温MEMS加速度计，拓宽了MEMS加速度计的使用范围。并对高温环境下的MEMS加速度计的温度特性进行研究。影响加速度计零偏温度系数的主要因素是应力，在应力过大的情况下，MEMS加速度计的结构会发生形变，导致零位偏移、温度漂移过大。基于有限元分析，从高温加速度计封装入手，通过优化封装应力，提高MEMS加速度计的温度性能，将全温零偏变化量减小至0.002 5g以内。加速度计量程达到了±50g，满量程线性度优于0.3%，可以满足航空航天、石油钻井等各种复杂高温环境的应用要求。 参考文献 | 相关文章 | 多维度评价 | 评论（0）