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多功能传感器集成综述
吕佩珏, 黄哲, 王晓明, 杨知雨, 林晨希, 王铭强, 杨洋, 胡然, 苟秋, 李嘉怡, 金玉丰
DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2023.0098
随着5G、智能汽车、物联网(IoT)、智慧医疗等市场的快速增长,其对传感器需求广泛,要求传感器具备微型化、集成化、智能化、低功耗等特点。概述了国内外学者在环境、汽车和生物参数检测等领域应用多功能传感器集成的成果,阐释了多功能传感器集成的工艺兼容性及封装的关键技术,分析了多功能传感器集成在模型仿真、产品测试和热管理方面面临的严峻挑战。对多功能传感器集成方案进行了总结,并提出了未来发展趋势。
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